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                EN
                产品名称:XYZ直线电机滑台
                产品概要:
                -- 直线轴XYZ纳米级定位精↘度;
                -- 精密交叉滚柱导轨。
                -- 主体铝合金材质
                产品精度:
                -- XY轴重复精度±100nm
                -- Z轴重复精度±200nm
                产品名称:XYθ平台
                产品概要:
                -- 直线轴XY+旋转轴θ电机平台;
                -- 小行程精密运动场合;
                产品精度:
                -- XY轴重复精度±0.5μm
                -- θ旋转轴精度±2.5arcsec
                产品名称:耦合平台
                产品概要:
                -- 直线轴XYZ+旋转轴ABC共6轴电机平台;
                -- 适用光纤耦合;
                产品精度:
                -- XYZ轴重复精度0.3μm
                -- ABC旋转轴重复精度±1.5arc sec
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